Атомно-силовые микроскопы

Серия N-lekta объединяет атомно-силовые микроскопы, сканирующие зондовые и гибридные системы, которые обеспечивают исследование структуры, свойств и поведения материалов с высоким пространственным разрешением.

Приборы N-lekta ориентированы на решение как фундаментальных научных задач, так и на оптимизацию промышленных технологий. Это унифицированные, надёжные и удобные в эксплуатации платформы, позволяющие проводить наноразмерный анализ с высокой воспроизводимостью и эффективностью.

N-LEKTA LR200

N-lekta LR200 – это атомно-силовой микроскоп для промышленного наноанализа, сочетающий точность исследовательского уровня с автоматизацией, необходимой для производственных процессов. Система обеспечивает высокую стабильность при работе с крупногабаритными образцами до 200×200 мм и использует интеллектуальные алгоритмы управления, превращая сложные процедуры наноисследований в быстрые и воспроизводимые рабочие процессы.

Ключевые преимущества

• Высокое качество изображения
• 50+ методик в базовой конфигурации
• Автоподбор параметров сканирования
• Автоматическая программа измерений
• Гибкая кастомизация системы

Области применения

Точное измерение шероховатости пластин

• Полное сканирование пластин размером до 200 × 200 мм
• Автоматизированный анализ по стандартам SEMI / ISO
• Получение трёхмерных карт шероховатости и отчётов о параметрах
  технологического процесса

Комплексный морфологический анализ микро- и наноструктур

• Визуализация трёхмерных объектов с субнанометровым вертикальным разрешением
• Определение рельефа, латеральных размеров и топографии поверхности
• Автоматическое сканирование и интеллектуальный анализ для оперативной оценки характеристик исследуемых структур

Анализ производительности фоторезиста для оптимизации литографии

• Наноразмерное исследование поведения фоторезистов
• Определение зависимости высоты резиста от дозы экспонирования
• Интегрированные инструменты анализа морфологии для быстрого выявления оптимальных параметров экспонирования

N-LEKTA SR40

N-lekta SR40 – модульная сканирующая зондовая система, обеспечивающая высокую гибкость конфигурации и профессиональный уровень производительности для решения широкого спектра научно-исследовательских задач. Открытая конструкция, удобный доступ к зоне измерений и расширяемая архитектура позволяют адаптировать систему под требования пользователей с разным уровнем подготовки – от начального до экспертного.

Ключевые особенности

• Адаптивность и открытая архитектура
• Широкий набор методов измерений
• Масштабируемость и интеграция
• Работа в контролируемых условиях
• Точные количественные измерения

Области применения

Материаловедение

• Наноструктуры и двумерные материалы
• Полимеры и мягкие материалы
• Тонкие плёнки и покрытия
• Материалы для энергетики
• Полупроводниковые структуры
• Метаматериалы

Электрические и магнитные измерения

• Микроскопия зонда Кельвина (KPFM): картирование поверхностного потенциала с чувствительностью до 3 мВ и разрешением до 20 нм.
• Электростатическая силовая микроскопия (EFM): визуализация распределения зарядов.
• Микроскопия пьезоотклика (PFM): анализ локальных электромеханических свойств.
• Микроскопия токов растекания (C-AFM): картирование проводимости с чувствительностью до 10 -¹¹ А .
• Магнитно-силовая микроскопия (MFM): визуализация магнитной структуры поверхности.

Применение в науках о жизни

• Проведение измерений в различных средах (воздух, жидкость) с контролем температуры.
• Количественный наномеханический анализ: эластичность клеток, силы адгезии.
• Исследования в области биофизики одиночных молекул, динамики живых клеток и межклеточных взаимодействий.